X 射线反射率的角分辨率测试数据
收藏国家基础学科公共科学数据中心2026-01-30 收录
官方服务：
资源简介：
本数据主要是针对考核指标提出的“X射线反射率的角分辨率"，在USAXS工业应用实验站发展了基于衍射仪搭建了薄膜反射率、掠入射及低角度入射散射装置。实现了基于掠入射/低角度入射散射（膜面内结构检测）、反射率技术（垂直膜表面方向结构检测）的薄膜三维结构检测技术的在线安装和测试。主要记录了X射线反射率的角分辨率测试数据。
提供机构：
中国科学院上海高等研究院搜集汇总
数据集介绍
背景与挑战
背景概述
该数据集由中国科学院上海高等研究院在USAXS工业应用实验站采集，基于衍射仪搭建了薄膜反射率、掠入射及低角度入射散射装置，实现了薄膜三维结构检测技术的在线安装与测试，主要记录了X射线反射率的角分辨率测试数据，数据格式包括tif、Si111和docx。
以上内容由遇见数据集搜集并总结生成
