超大高宽比器件结构数据集

本数据集主要面向超大高宽比结构的研究，在兼容微电子制造技术基础上，融合电镀加法和刻蚀减法两种图形转移技术，研究高线密度、超大高宽比、陡直剖面、抗辐射、自支撑金属（Cr/Au）和电介质(SiC/Si3N4)的复杂纳米结构加工成套技术，突破超大高宽比纳米器件集成瓶颈，为性能测试和应用验证提供纳米器件。本数据集主要包括研究过程中的实验数据，主要包括扫描各种结构的扫描电镜照片，光学显微镜照片，工艺参数，以及相应的测试数据。