衬底缺陷分类识别与衍生规律研究

研究单晶衬底表面形貌缺陷、体缺陷等不同类别缺陷的形貌特征、临近区域的应力分布、衍生规律等，实现大尺寸单晶衬底形貌缺陷和体缺陷的分类识别，基于分类识别的研究，开展缺陷的溯源分析，明确缺陷的转移、转化和衍生规律，指导单晶衬底的缺陷控制工艺优化。开展衬底缺陷与外延材料缺陷的关联性分析，研究衬底缺陷在外延中的衍生规律，掌握“衬底-外延”中典型缺陷的增殖、继承与转移、转化等规律，明确衬底中典型缺陷对外延材料的影响，实现高危害缺陷的起源控制，指导优化大尺寸单晶衬底缺陷控制技术。主要记录了图集合集、支撑数据、专利等观测值。数据量为数据量为15.8MB。