厚金属膜电镀工艺实验研究数据集

本数据集包含基于光刻胶微模具的硅基厚金属膜电镀工艺实验数据以及激光诱导石墨烯异质种子层上铜电镀工艺实验，对电镀速率、金属表面粗糙度等电镀参数进行表征分析。