IQ调制器数据集

本数据集汇集了用于InP基IQ调制器的多层光波导结构设计、工艺制备、器件表征以及系统级性能测试过程中产生的相关数据。数据内容涵盖多层有源/无源光波导集成工艺、立体锥结构设计与制备、器件结构表征以及调制性能测试结果，为InP基高速相干调制器的设计与工艺优化提供完整数据支撑。数据集包含多种类型的数据，主要包括： 多层光波导与结构设计数据：包括多层光波导（有源层/无源层）布局设计、MZ子调制器与90°光学混合结构设计等，版图文件采用版图设计软件绘制。 立体锥结构（Vertical Taper）设计与制备数据：包括多层光波导之间的立体锥过渡结构设计示意图、关键工艺参数以及对应的工艺实现方案，用于实现不同高度与不同模场尺寸光波导之间的低损耗耦合。 工艺流程与结构表征数据：工艺流程以示意图形式给出，采用Visio等工具绘制；工艺制备过程和器件结构采用扫描电子显微镜（SEM）和光学显微镜进行表征，重点展示多层波导结构、立体锥结构及脊型波导形貌。 IQ调制器性能测试数据：IQ调制器的测试数据采用常规电光测试方法获得，包括半波电压、调制带宽、插入损耗、消光比以及IQ调制性能（I/Q端口幅度与相位匹配特性）等关键指标。其中，半波电压采用三角波法测试，电光带宽采用扫频法测试。