相干噪声传输及其对光刻胶掩膜形成的影响研究数据

本数据集依托平面波衍射的角谱理论和自由空间传输理论等原理构建，构建镜面误差与光场均匀性之间的理论模型。通过实验所构建的关系模型对理论模型进行验证，围绕不同类型镜面误差与其对应诱导产生相干噪声之间的关系进行模拟与实验，进一步修正、完善关系模型。基于光栅掩模槽形演化模型，利用镜面误差与光场均匀性之间的关系，系统分析镜面缺陷诱导产生的相干噪声对光刻胶掩模形成的影响规律，为建立实现疵病缺陷的性状划分光学表面频段误差划分及评价体系优化提供理论依据。