硅光调制器有源区尺寸测试数据

硅光调制器有源区尺寸主要面向高速光网络中的小尺寸的调制器需求建设，以期达到高度集成的光互连器件。本数据集来源于武汉网锐检测科技有限公司的检测数据，主要记录了所制备的硅光调制器的光学显微镜图片并计算了有源区尺寸大小。数据有源区尺寸首先通过版图和芯片对比，并进一步基于版图测试得到，具体版图和芯片显微镜图片见图片文件，测试方法见excel文件。总体数据量4.23MB。