8英寸MEMS传感器定制化金属硅通孔核心参数工艺数据集

硅通孔技术通过垂直互连可实现芯片的3D堆叠，目前以铜为代表的金属硅通孔（TSV）成为当前主流方案之一。本数据集基于通孔刻蚀、牺牲层沉积与腐蚀、介电层沉积、金属电镀和抛光等工艺技术构建了金属TSV标准工艺模块，并采取电子扫描显微镜及电性测试方法，对进行了衬底厚度、通孔深宽比、单一通孔电阻值进行了测试。本数据集的时间范围为2022年至2024年，数据集采用了通用标准的实验设备及科学严谨的测试方法，保证了数据的准确性和稳定性。该数据集为实现高密度电学垂直互联技术提供了实验基础，可以有效提高系统集成度。