2017YFB1104300-007-大面积高精度结构数据库
收藏国家基础学科公共科学数据中心2026-01-30 收录
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资源简介：
根据项目目标，要利用所发展的超快激光微纳加工技术实现大面积高精度微纳结构的制造，要求实现在1平方厘米面积内精度达100 nm以下。通过优化技术参数，最终我们在硅基底上实现了1.55平方厘米内精度达到48.5 nm。数据中包含了该结构的光学显微镜图片和扫描电镜图，以及第三方检测报告。该结构可望应用于对大面积、高精度有需求的半导体、信息、能源、生物医学等领域。
提供机构：
中国科学院理化技术研究所
