Long-Tailed SEM Wafer Defect Dataset
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Zhejiang University's in-house SEM wafer defect dataset
浙江大学自研的扫描电子显微镜（SEM）晶圆缺陷数据集
创建时间：
2026-04-21
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Zhejiang University's in-house SEM wafer defect dataset
浙江大学自研的扫描电子显微镜（SEM）晶圆缺陷数据集