二维刺晶头刺晶固晶OverSpeed仿真数据

二维刺晶头刺晶固晶OverSpeed的规划、仿真与测试是本课题的重要的研究内容。二维刺晶头刺晶固晶OverSpeed（跨行刺晶固晶速度）仿真与实验测试是通过规划刺晶头末端点运动规划（即末端上下运动最大频率-上下运动时间）与模拟承片台的换行运动规划换行时间，两个时间相加后得到的频率来间接获得Overspeed的速度(例如>30Hz)，刺晶机构的运动行程和动态指标（带宽）直接决定了刺晶头末端点的上下运动的频率(每秒刺晶头上下往返运动的频率)。通过Matlab Simulink规划S曲线，再将其规划在ACS motion Control的驱动控制器实现其规划，驱动刺晶头的运动，通过微型激光多普勒测振仪MotionGo来测试刺晶头末端点的高频运动，来测试Overspeed的数据，同时也验证仿真规划结果的正确性。