新型MOCVD设备加热系统开发数据集

新型MOCVD设备的加热系统主要针对Micro-LED应用高温场均匀性、高靠可靠性的需求开展研究，通过模拟仿真计算指导设计了一款既满足高温场均匀性的加热系统，且该加热系统在高温运行状态下的可靠性也得到的模拟仿真确认。该数据集主要采集了模拟仿真的数据，记录了采用该款加热系统在实验室取得的加热实验数据、相关的专利以及有关指标的测试报告，数据量约为88.6MB。