ОСОБЕННОСТИ ФОРМИРОВАНИЯ ПАРАМАГНИТНЫХ ЦЕНТРОВ Cr3+ПРИ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ ХРОМА В ТИТАНАТ СТРОНЦИЯ (SrTiO3)

Представлены результаты структурных (методом РФЭС) и магниторезонансных (ЭПР) исследований монокристаллических пластин титаната стронция (SrTiO3), легированных примесью хрома с высокой концентрацией методом ионной имплантации. Показано, что температура оксидной матрицы во время ионной имплантации, при комнатной (300 К) или повышенной (900 К) температуре, существенно влияет на валентное состояние имплантированной примеси хрома (Сr0 или Сr3) и глубинные профили ее распределения в матрице SrTiO3.