蓝宝石衬底Micro-LED波长均匀性提升技术研究数据集
收藏国家基础学科公共科学数据中心2025-08-30 收录
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资源简介：
新型MOCVD设备蓝宝石基蓝绿光Micro-LED外延片波长一致性工艺研究主要针对中微公司开发的Micro-LED用新型MOCVD设备在三安公司开展Micro-LED外延工艺开发与生产调试，研究新款设备在蓝宝石基蓝绿光Micro-LED外延生产过程中波长一致性的制约要素，开发新型MOCVD设备的外延工艺，获取了较好的实验结果，并实现试生产应用。该数据集主要采集了相关实验的波长均匀性结果、衬底应力的统计信息，相关测试报告以及专利全文等数据，数据量约为31.8MB。
提供机构：
中微半导体设备(上海)股份有限公司
搜集汇总
数据集介绍
背景与挑战
背景概述
该数据集聚焦于蓝宝石衬底Micro-LED波长均匀性提升技术，通过新型MOCVD设备进行外延工艺开发与生产调试，探究影响波长均匀性的关键因素。数据集收录了相关实验的波长均匀性结果、衬底应力统计信息，以及测试报告和专利全文，数据量约为31.8MB。
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