低位错密度的AlN和AlGaN薄膜的实现数据集

数据集包括研究生长表面晶向、结构特性和应力状态对外延过程的作用规律，分析生长参数对外延层表面形貌的影响过程中产生的表征测试结果数据以及AlN薄膜的厚度，以及发展AlN衬底上AlN和AlGaN薄膜及量子阱结构高质量MOCVD同质生长中的AlN薄膜的厚度、AlN薄膜和AlGaN薄膜的位错密度等关键指标。