物理气相输运法制备和生长大尺寸AlN单晶籽晶、晶锭数据集

建立4英寸PVT热场设计方法和生长分析模型，研究大尺寸晶体生长中的热应力分布和表征方法，进行大尺寸生长中的热场结构设计和动态调控技术研究，包含针对大尺寸晶体生长的模拟仿真结果数据；开展大尺寸SiC异质衬底上AlN单晶生长研究，探索大尺寸籽晶的制备方法，包含大尺寸AlN单晶异质生长过程中的表征数据。