3D-РЕКОНСТРУКЦИЯ РЕНТГЕНОВСКИХ ДИФРАКЦИОННЫХ ИЗОБРАЖЕНИЙ ДЕФЕКТОВ В МОНОКРИСТАЛЛАХ КРЕМНИЯ
收藏资源简介：
Данное исследование продолжает цикл работ по развитию метода рентгеновской топотомографии с применением лабораторного оборудования 13. В порядке тестирования повышения чувствительности нового рентгеновского дифрактометра ДИТОММ , разработанного в ИК РАН, получены изображения пространственного расположения одиночной полигональной дислокационной полупетли в монокристалле кремния Si(111), введенной методом четырехопорного изгиба. Проведено сравнение с соответствующими экспериментальными данными, полученными на синхротронном источнике излучения с высоким пространственным разрешением. Это позволило усовершенствовать методики эксперимента и программноаппаратного обеспечения для трехмерной реконструкции исследуемого единичного дефекта, полигональной дислокационной полупетли.
