复合型高深宽比沟槽标准样板检测数据

由于当下市面上的标准样板都是线宽尺寸和台阶高度尺寸分离，没有集成在一起的深宽比大于等于10:1 的复合型高深宽比沟槽(台阶)标准样板，并且样板的范围不能完全覆盖当前硅基MEMS器件尺寸的要求，无法达到应用的目的，因此通过研制复合型高深宽比沟槽标准样板来弥补市面上该方面的空缺。复合型高深宽比沟槽标准样板检测数据集主要对象为1号-5号标准样板，数据由中国电子科技集团公司第十三研究所的SU8200扫描电镜产生，经由其配套测量软件Regulus处理后记录得到，测量过程中环境温度为22.5℃，环境相对湿度为40%。数据集中主要记录了标准样板沟槽的测量宽度值，测量深度值，测量重复性与测量稳定性。