Xe-LPP EUV source
收藏DataCite Commons2026-01-30 更新2026-05-05 收录
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资源简介：
本数据集涉及所开发的Xe-LPP EUV光源的强度、等离子体尺寸、稳定性。调节的参数包括气体背压，激光时间延迟以及喷嘴的移动距离。所展示的数据可能存在误差，原因是手动调节减压阀带来的背压误差以及实验的随机性。
提供机构：
Science Data Bank
创建时间：
2026-01-30
