高质量深紫外LED材料外延工艺与材料表征数据集

数据集共包括22个数据文件，总容量1.3 GB，涵盖高质量深紫外LED材料外延工艺与材料表征的完整数据。核心内容包括：1）深紫外LED材料外延材料质量表征（XRD数据4个Excel文件，1个.opj文件，2个tif文件，共138 MB；SEM腐蚀坑位错表征图像5个.tif文件，32.3 MB），记录XRD摇摆曲线半高宽及位错密度统计结果；2）表面形貌表征文件（AFM图像2个tif文件，SEM截面图像1个.jpg文件，共1.02 GB），展示表面粗糙度及微观结构；3）光致发光面扫描（PL mapping）数据（2个Excel文件、1个opj文件及2个tif图像文件，共1.69 MB），包含发光波长均匀性分布及Mapping图像；4）相关成果文件（1篇学术论文及2项专利申请受理通知，共2个pdf文件，6.32 MB）。数据采集时间为2022年11月至2025年10月，严格遵循标准化实验流程，关键指标经多批次独立测试验证，确保数据的可靠性与可重复性。数据集大小为1.2GB。