Deposition rate for pulse sputtering
收藏DataCite Commons2025-05-19 更新2025-09-08 收录
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资源简介：
The deposition rate for different values of discharge power as a function of pressure (orifice diameter) at constant argon flow (90 sccm) for pulsed sputtering mode
提供机构：
figshare
创建时间：
2025-05-19
