界面非线性动态响应对固晶的影响机制
收藏国家基础学科公共科学数据中心2026-01-30 收录
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Mini LED芯片从晶圆/蓝膜上转移至驱动基板后,还需进一步与驱动基板键合以形成电学互连。激光辅助键合是目前十分先进的芯片键合方式,这种方式键合时间短、键合效果好,可以形成良好的焊点和足够的剪切强度。为了研究激光辅助键合后焊点的强度,对焊点截面和剪切强度进行了研究。为了验证焊点的可靠性,使用了推剪机对芯片焊点进行推剪实验。为了研究实际工艺中激光移动进行焊点键合,使用了abaqus进行热力耦合仿真。同时,在分子动力学软件LAMMPS中构建纳尺度的光滑规则基体,根据晶圆表面的轮廓高度函数Z(x,y)实现基体表面原子的筛选和删除,得到与实际更相符的、具有纳观粗糙分形表面的晶圆,从而建立纳尺度下晶圆固晶界面的分子动力学模型。通过模拟不同深度下不同均方根粗糙度晶圆工件的刺晶过程,揭示材料的去除机理、热力学性质和力学响应。
提供机构:
武汉大学搜集汇总
数据集介绍

背景与挑战
背景概述
该数据集围绕Mini LED芯片的激光辅助键合工艺,通过推剪实验、Abaqus仿真和LAMMPS分子动力学模拟,研究焊点强度、可靠性及纳尺度固晶界面的非线性动态响应机制。其内容涉及材料科学与机械工程领域,旨在揭示键合过程中的热力学和力学行为。
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