MD animations (Supplement materials)
收藏官方服务：
资源简介：
Supplement materials for the submission Atomic layer etching of sputter-deposited AlNthin films in radiofrequency Cl2-Ar plasmas
“射频Cl₂-Ar等离子体中溅射沉积氮化铝（AlN）薄膜的原子层刻蚀（Atomic layer etching）”投稿的补充材料
提供机构：
Zenodo创建时间：
2025-12-12
