掠入射/低角度入射散射最大 q 值测试数据

本数据主要是针对考核指标提出的“掠入射/低角度入射散射最大q值"，在USAXS工业应用实验站发展了基于衍射仪搭建了薄膜反射率、掠入射及低角度入射散射装置。实现了基于掠入射/低角度入射散射（膜面内结构检测）、反射率技术（垂直膜表面方向结构检测）的薄膜三维结构检测技术的在线安装和测试。主要记录了掠入射/低角度入射散射最大q值测试数据。

搜集汇总

背景与挑战

背景概述

该数据集记录了掠入射/低角度入射散射最大q值的测试数据，由中国科学院上海高等研究院在USAXS工业应用实验站基于衍射仪搭建的薄膜反射率及掠入射/低角度入射散射装置产生。这些数据旨在支持针对薄膜膜面内结构与垂直膜表面方向结构的在线安装与测试，服务于薄膜三维结构检测技术的研究与应用。