核心器件有效尺寸测试实验数据集
收藏国家基础学科公共科学数据中心2025-08-30 收录
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资源简介：
核心器件有效尺寸测试实验数据集中主要数据为核心器件有效尺寸，是指超表面样片有效工作区域的几何尺寸，也是考核指标之一；在主要数据获取的过程中还涉及到的其他数据有：USAF 1951标准分辨率板第二组正方形图案所成像的边长、显微系统放大倍率超表面样片所成像的横向尺寸与纵向尺寸、超表面样片的横向尺寸与纵向尺寸。来源于显微镜对超表面样片进行显微成像，并测量相应的尺寸数据。数据量为158.95MB。
提供机构：
武汉大学
