基于准异质结构和原始LiNbO3瑞利SAW谐振腔相关数据

展示了一种由应变LiNbO3浅表面层和原始LiNbO3衬底组成的新型准异质结构。准异质结构是通过将氦离子注入到单晶x切割LiNbO3晶片的表面层来构建的，其中表面层的材料特性将被注入的离子调制。通过x射线衍射(XRD)摇摆曲线表征了离子注入层的晶体质量和应变分布。在准异质结构和原始LiNbO3上制备了Rayleigh-SAW谐振腔。准异质结构上的谐振腔表现出更高的谐振频率(1.15 ~ 1.17倍)、更大的机电耦合因子(1.1 ~ 1.4倍)、更高的质量因子(1.1倍)和更大的静态电容(1.33倍)，表明应变LiNbO3层的弹性常数、压电常数和介电常数得到了有效的调制。虽然改进后的性能与调制材料常数之间的相关性仍在研究中，但这些改进揭示了执行的可行性。

搜集汇总

背景与挑战

背景概述

该数据集展示了一种通过氦离子注入构建的新型准异质结构，由应变LiNbO3浅表面层和原始LiNbO3衬底组成，并制备了Rayleigh-SAW谐振腔。与原始LiNbO3相比，准异质结构上的谐振腔表现出更高的谐振频率、更大的机电耦合因子、更高的质量因子和更大的静态电容，表明材料常数得到有效调制。