纳米厚度膜单轴静态拉伸试验方法数据集
收藏国家基础学科公共科学数据中心2024-03-05 收录
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资源简介：
课题针对纳尺度结构的工艺相关力学特性表征和制造工艺质量监控的问题和需求，开展了纳结构力学特性在线提取方法研究，本数据集提出了一种基于片上试验机的纳米厚度膜单轴静态拉伸试验方法，设计了具有读数标尺显示的电热驱动片上试验机结构，利用实验室自主研发的键合深刻蚀释放（SOG）标准工艺完成试验机的制造，成功实现PVD方法制造的100纳米厚度铝梁结构拉断试验。本数据集包括试验机结构制造工艺流程、试验机结构电镜照片、试验机结构仿真数据、试验机测试数据
提供机构：
北京大学
