硅麦克风工作温度研究数据集
收藏国家基础学科公共科学数据中心2026-01-30 收录
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资源简介：
MEMS硅麦克风的工作温度范围为-40℃~85℃，为验证本项目所生产的MEMS硅麦克风可在该温度范围内工作，硅麦克风工作温度研究数据集主要面向MEMS硅麦克风在-40℃~85℃环境温度下的结构稳定性和信号输出的需求而建设。
本数据集基于C7-600Pro温湿度试验箱、YXLON FF35工业CT、AWA5511A声源、MSO4102B-L数字示波器获得，主要记录了MEMS硅麦克风经历了85℃贮存72 h之后恢复至室温，再在-40℃贮存72 h并恢复至室温之后的外部、内部结构形貌，以及麦克风在85℃和-40℃环境中的输出波形。
提供机构：
西安交通大学
