遇见数据集

CMP code and data

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NIAID Data Ecosystem2026-05-02 收录
化学机械抛光力测量
半导体工艺研究
数据链接：
https://data.mendeley.com/datasets/g33p4kc4jm数据链接链接失效反馈
官方服务：

资源简介：

CMP data (forces) Codes will be posted upon paper acceptance.

创建时间：
2025-07-01
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