外差二维光栅位移测量系统及测量方法

一种六维测量装置，其特征在于，包括：用于测量竖直位移的竖直位移测量单元(1)、用于测量水平位移的水平位移测量单元(2)、用于测量角度变化的角度测量单元(3)、用于产生测量用衍射光的二维光栅(4)、用于提供入射光的单频激光器(5)、用于进行计算的处理器单元；所述二维光栅(4)与待测物体固定连接，所述单频激光器(5)发出的单频激光的出射方向与所述二维光栅(4)所在平面的法线之间为锐角夹角，作为入射光射入所述二维光栅(4)产生衍射，衍射光射入所述竖直位移测量单元(1)、所述水平位移测量单元(2)和所述角度测量单元(3)，所述衍射光包括(0，0)级、(0，1)级、(0，-1)级、(1，1)级、(1，-1)级、(-1，1)级、(-1，-1)级、(1，0)级、(-1，0)级衍射光，当所述二维光栅(4)的位置发生改变时，所述衍射光的形态发生改变；所述竖直位移测量单元(1)、所述水平位移测量单元(2)和所述角度测量单元(3)分别用于接收所述衍射光，并将所述衍射光的数据传递至所述处理器单元，所述处理器单元根据接收的数据，计算得到所述二维光栅(4)的竖直位移、水平位移和角度变化；所述竖直位移测量单元(1)包括用于接收所述入射光和所述衍射光的竖直光电探测器组，所述水平位移测量单元(2)包括用于接收所述衍射光的水平光电探测器组，所述角度测量单元(3)包括用于接收所述衍射光的位置探测器组。