АНОМАЛИИ РЕЛАКСАЦИОННОГО ОБЪЕМА ПРИМЕСНЫХ ДЕФЕКТОВ В КРЕМНИИ: РАСЧЕТЫ ИЗ ПЕРВЫХ ПРИНЦИПОВ ДЛЯ Al И Ga

Релаксационный объем является важнейшей характеристикой атома примеси, знание которой позволяет с высокой точностью определять содержание легирующей примеси в кристалле дифракционными методами. В данной работе представлены результаты расчета релаксационного объема из первых принципов для атомов гетеровалентной примеси в кремнии в позиции замещения. Для расчета полной энергии валентных электронов использовался метод функционала плотности. Расчеты проводились с помощью программы ABINIT 1, в которой реализован итерационный метод самосогласованного решения системы одночастичных уравнений КонаШэма с разложением блоховских функций валентных электронов по плосковолновому базису. Для обменнокорреляционной энергии использовалось обобщенное градиентное приближение, а влияние электронов ионного остова учитывалось с помощью нормосохраняющего псевдопотенциала, построенного для свободных атомов на основе того же обменнокорреляционного функционала.