MEMS声发射传感器可靠性验证实验数据
收藏国家基础学科公共科学数据中心2026-03-14 收录
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https://nbsdc.cn/general/dataDetail?id=69b19197195d2623ac620b45&type=1
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资源简介：
本数据集是基于课题三研究内容4-“MEMS薄膜声发射传感器设计制造及可靠性技术”。开展可靠性强化试验所产生的试验数据，对应指标3.3 MEMS声发射传感器。本数据集主要包括MEMS声发射传感器振动冲击试验数据和MEMS声发射传感器温度冲击试验数据，以揭示声发射传感器在极端温差条件下的性能变化及传感器的耐振动冲击能力。
提供机构：
中南大学
