Shadow mask assisted 193 nm Excimer laser processing of commercial Cyclo-Olefin-Copolymer (COC) substrates for low-cost micro-fluidic biosensing devices.
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An Abstract submitted to The 24th International Symposium on Laser Precision Microfabrication (LPM2023)
提供机构：
Kant, Krishna创建时间：
2023-09-04
