InGaN材料SEM表征数据集

SEM（扫描电子显微镜）是一种介于 透射电子显微镜 和 光学显微镜 之间的一种观察手段，其利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品，通过光束与物质间的相互作用，来激发各种物理信息，对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的。通过SEM形貌观察可指导外延生长及器件制备的过程优化。

Scanning Electron Microscopy (SEM) is an imaging technique positioned between Transmission Electron Microscopy (TEM) and Optical Microscopy. It employs a tightly focused high-energy electron beam to scan specimens, where the interaction between the electron beam and the sample excites diverse physical signals. These signals are subsequently collected, amplified and reconstructed into images to achieve the characterization of the microscopic morphology of materials. SEM-based morphological observation can guide the process optimization of epitaxial growth and device fabrication.

搜集汇总

背景与挑战

背景概述

该数据集提供了InGaN材料的扫描电子显微镜（SEM）表征数据，用于分析材料的微观形貌，以指导外延生长和器件制备的过程优化。数据集包含25个文件，总大小为3.16MB，由华南理工大学的研究人员李国强和柴吉星创建，属于国家重点研发计划项目'面向微型化高速长距离传输的可见光通信系统研究'的组成部分。