具有辅助槽结构的X切铌酸锂薄膜调制器相关表征数据

铌酸锂薄膜声光调制器主要面向片上光通信的研究，针对超低功耗片上调制的需求，开发了新型片上“微波—声波—光波”多物理场耦合器件，实现片上高效、低功耗声光调制。基于理论设计分析与仿真计算（工具为：Lumerical FDTD/MODE Solutions）确定了器件的最优结构参数，其中主要记录了铌酸锂薄膜波导结构、槽式结构辅助式波导结构、叉指电极与波导间距等对调制波导折射率改变的影响值，数据量小于50MB。

搜集汇总

背景与挑战

背景概述

该数据集聚焦于X切铌酸锂薄膜调制器的表征数据，针对片上光通信应用，通过辅助槽结构设计实现了多物理场耦合的低功耗声光调制。数据基于理论仿真计算生成，记录了关键结构参数对调制性能的影响，总数据量小于50MB。