AlScN Piezoelectric MEMS Mirrors with Large Field of View for LiDAR Application
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资源简介：
This paper presents AlScN piezoelectric two-axis MEMS mirrors with gimbal-less and gimbaled designs fabricated in a CMOS-compatible manner.
提供机构：
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
创建时间：
2023-05-23
