硅基半导体场效应管制备

在同位素纯化的硅基金属氧化物半导体材料上制备了hall bar结构，包括六个欧姆接触和一个栅电极，利用锁相放大器测量了不同欧姆接触之间的输运电流随着栅电极电压的变化趋势，并对欧姆接触2和3以及2和6之间的偏压进行7小时连续监控，观测器件的稳定性。