超灵敏MEMS弱力传感器样机及应用验证实验数据

本数据集围绕超灵敏MEMS弱力传感器的实际应用有效性构建，旨在验证传感器在实际测试场景中的可靠性，为微纳尺度力学测试技术研发及同类MEMS传感器应用拓展提供实测数据支撑。其产生依托集成六轴纳米位移台与扫描电子显微镜（SEM4000Pro）的原位力学测试仪样机，实现微纳材料力学测试与微观观察的同步表征，针对性开展三类典型样品的应用验证实验，包括AFM探针弯曲/扭转刚度测试、金属样品扭转载荷测试、硒化银样品扭转载荷测试。数据集核心数据涵盖多维度信息，包括SEM实时采集的实验视频及关键状态图片、锁相放大器输出的原始力学信号，以及规范化处理后的数据。数据集包含4个核心数据文件：一是测试图像及视频，含不同样品弯曲/扭转测试的SEM拍摄图片，及实验过程中屏幕录制、SEM录制的视频；二是测试原始数据，为锁相放大器直接输出的传感器响应信号，存储格式为txt；三是论文及专利相关资料。本数据集可直接用于量化表征微纳材料力学性能，不仅为超灵敏MEMS弱力传感器的实际应用价值提供了有力数据佐证，也为微纳尺度力学测试领域的技术创新及同类传感器的应用场景拓展奠定了数据基础。