GDS schemas of perturbed Fresnel zone plates
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资源简介：
GDS schemas of the tested Fresnel zone plates that can be used in e-beam lithography to replicate our perturbated zone plates.
本数据集收录经测试的菲涅尔波带片的GDS版图结构，该类结构可应用于电子束光刻工艺，以复刻我们研制的微扰型菲涅尔波带片。
提供机构：
Optica Publishing Group
创建时间：
2019-05-09
