О ВЛИЯНИИ ПЛАСТИЧЕСКОЙ ДЕФОРМАЦИИ В УСЛОВИЯХ ТЕРМО И ЭЛЕКТРОНАГРЕВА НА ИЗМЕНЕНИЕ ПРОЧНОСТНЫХ И ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ СВОЙСТВ ГЕРМАНИЯ И КРЕМНИЯ

Основным фактором, влияющим на надежность чувствительных элементов датчиков физических величин, являются наноразмерные и наноструктурные дефекты в полупроводнике, возникающие на различных этапах жизненного цикла приборов 1. Поскольку приборы испытывают влияние различных внешних параметров, представляется важным исследование влияния, например, температуры и электрического поля при одновременном сжатии полупроводника на изменение его прочностных и пластических свойств, а также электрической проводимости.

影响物理量传感器敏感元件可靠性的核心因素，是半导体中产生的纳米级与纳米结构缺陷，这类缺陷会在设备生命周期的各个阶段形成¹。由于设备会受到各类外部参数的作用，因此研究温度、电场以及半导体同时受压工况对其强度性能、塑性性能与导电性能的影响，具有重要的研究价值。