氧化铝陶瓷导轨部件产业化性能数据集

本数据集主要包含氧化铝陶瓷导轨产业化过程中涉及的原料生产设备、素坯雕铣加工和成品加工设备、冷等静压机、平面磨床、窑炉等生产线能力建设以及本项目研发的大行程氧化铝陶瓷导轨产品在G5和G6面板光刻机上的国产化应用考核和示范应用情况，数据量为22.5MB，由项目参与单位中国科学院上海硅酸盐研究所、山东硅元新型材料股份有限公司、上海微电子装备（集团）股份有限公司和季华实验室共同参与完成。数据包含生产线建设照片、面板光刻机分系统和整机装配、工件台分系统测试现场、模态测试、整机分辨率测试照片和数据、应用解决方案测试大纲、测试报告和用户使用报告等，文件格式主要有pdf、jpeg、png等。