Thermal Atomic Layer Deposition of Ultrathin LiPON at a 200 mm Wafer-Scale
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Thermal Atomic Layer Deposition of Ultrathin LiPON at a 200 mm Wafer-Scale
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2026-03-27
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Thermal Atomic Layer Deposition of Ultrathin LiPON at a 200 mm Wafer-Scale