硅谐振压力传感器标定数据

本项目研制的3 种不同量程的硅谐振压力传感器RPS5621GD-A1、RPS5622GD-A1 和RPS5623GD-A。均通过专用的标定测试设备，给定传感器标准压力和标准温度。采集传感器输出频率后，通过标准公式拟合，得出于对应的压力值和误差值。形成标定数据的DAT文件或xlsx文件。数据共142份，4.82MB。