SiC外延片切缝形状精度和断口质量的检测与评价数据集

切缝表面形貌图像表征数据；表面直线度、切缝宽度数据；切缝断口形貌表征以及元素分布数据；复合工艺参数对切缝形状精度和断口质量的影响实验数据。以上数据用于支撑SiC 外延片样件的考核指标。2份包含表面直线度、切缝宽度的切割质量检测报告分别由机械工业机床产品质量检测中心和青岛博恩德检测有限公司提供；1张切割表面形貌图通过超景深显微镜VHX6000获得；1张表面直线度、切缝宽度测量示意图由李洁根据公开发表论文绘制；1张切缝断口形貌微观图通过电子显微镜MIRA3-LMH获得；1张切缝断口形貌元素分布图通过能量色散光谱仪One Max 20测量获得；1篇高水平学术论文由曲美娜发表。