Direct bonding and debonding of 2D semiconductors

Raman spectra, XRD scan, SHG data of bonding-debonding bilayer 2D semiconductors, and electronic performance of FET devices based on monolayer mos2 directly bonded onto HfO2 substrate.本数据集包含键合-脱键合双层二维半导体的拉曼光谱（Raman spectra）、X射线衍射扫描（XRD scan）数据与二次谐波生成（SHG）数据，以及基于直接键合于二氧化铪（HfO₂）衬底上的单层二硫化钼（MoS₂）的场效应晶体管（FET）器件的电学性能。