硅基氮化铝混合波导及其实现方法仿真数据
收藏国家基础学科公共科学数据中心2024-03-05 收录
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资源简介：
课题专利指标中，专利硅基氮化铝混合波导及其实现方法仿真数据中图4的数据。数据数据是使用Lumerical Mode Solution仿真得到的，通过Origin处理数据可得到专利中数据结果。在window10及以上环境下，使用Lumerical Mode Solution打开相应的文件程序进行仿真，可得到相应的数据，使用Origin软件打开相应文件程序，即可导出相应数据结果。
提供机构：
上海交通大学
