Rutherford Backscattering spectroscopy

Mendeley Data2018-01-09 更新2026-04-09 收录

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Figure 2: Rutherford Backscattering spectrometry (RBS) depth profile of ZA1 (Al–ZnO(15 min)/ZnO(100 min)/ITO/glass).

图2：ZA1样品（铝掺杂氧化锌（Al-ZnO）(15 min)/氧化锌（ZnO）(100 min)/氧化铟锡（ITO）/玻璃衬底）的卢瑟福背散射谱（Rutherford Backscattering Spectrometry，RBS）深度剖面

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2018-01-09