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本数据集主要包括六英寸钽酸锂材料XRD半高宽与晶圆总厚度偏差的相关研究数据。通过研究钽酸锂晶体生长与晶片抛光两大核心工艺环节，通过正交实验法系统调节热场与动力学参数，结合XRD半峰宽量化结晶质量，验证晶体缺陷控制机制，晶片抛光方面构建仿真模型并结合正交实验设计方法，研究抛光工艺分区加压及抛光垫结构对晶片表面质量的作用规律，实现高表面质量加工。数据内容包括材料加工与制备、性能测试数据、第三方检测报告。