physVLA QAQC 12-D Mesh: QAQC_CHIP_SCAN
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Semiconductor wafer failure patterns mapped to a 12-D topological manifold.
映射至12维拓扑流形（12-D topological manifold）的半导体晶圆（semiconductor wafer）失效模式
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Zenodo创建时间：
2026-03-10
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Semiconductor wafer failure patterns mapped to a 12-D topological manifold.
映射至12维拓扑流形（12-D topological manifold）的半导体晶圆（semiconductor wafer）失效模式