硅基厚金属原位监测方法研究数据集

本数据集包含对基于微旋转结构的残余应力监测结构仿真建模数据以及基于远红外反射光谱的测量方法仿真建模数据。对于基于微旋转结构的残余应力监测结构，考察了环境参数与薄膜残余应变大小的关系。对于基于远红外反射光谱的测量方法，在太赫兹波段进行无损监测研究，考察了结构参数对高深宽比结构太赫兹响应的关系。